KASHIYAMA工業(yè)的產(chǎn)品在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域和高科技行業(yè)中已經(jīng)榮獲了極高的評(píng)價(jià)與信賴。尤其是來自于半導(dǎo)體制造行業(yè)的信賴,這是KASHIYAMA工業(yè)多年長(zhǎng)期以來不斷開發(fā)進(jìn)取真空技術(shù)的結(jié)果。

KASHIYAMA工業(yè)的干式真空泵系列已經(jīng)成為半導(dǎo)體制造業(yè)與液晶顯示制造行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。并在極高難度的制程發(fā)揮上獲得了客戶的信賴與評(píng)價(jià)。除了干式真空泵以外,魯式及排氣組合式真空泵設(shè)備在廣泛的領(lǐng)域當(dāng)中發(fā)揮它的威力。

產(chǎn)品詳細(xì)信息:

プロダクトガイド - LEH/LEMシリーズ - 製品の特徴 ポンプの構(gòu)造原理:當(dāng)社製水封式真空ポンプは円形ケーシングと羽根車より本體を構(gòu)成し羽根車はケーシングと偏心した位置に取り付けられています。ケーシング內(nèi)に適當(dāng)量の水を入れて羽根車を回転させると、水は遠(yuǎn)心力によってケーシングと同心の円形狀の水膜を作りながら運(yùn)動(dòng)します。

これにより水膜と隣接する羽根と羽根とによって密閉された空間が生じ、羽根車が回転するにしたがって空間は容積変化して、吸入、圧縮、排気を連続的に行ない非常に高能率なポンプとなっています。

公害問題の面から吸引気體中に含まれる種々の有害ガスが水に溶解または混合して排出されるのを防ぐため封水を直接流出させないで循環(huán)させて使用する方式もあります。

LEH/LEMシリーズの特徴:

水蒸気や水滴を含んだ気體の排気に適である。

引火性ガスや腐食性ガスの排気ができる。

摩擦部分が少なく故障がないので連続運(yùn)転に耐えられる。

低騒音でかつ振動(dòng)が少ない。

連続排気で脈動(dòng)がない。

軸封にメカニカルシールを使用し、メンテナンスが容易。

全機(jī)種エルモ形で従來のナッシュ形よりも効率到達(dá)圧力がよい。

定流量弁を內(nèi)蔵して適量給水方式を採(cǎi)用している。

LEH型は2段ポンプで高真空用に、LEM型はモーター直結(jié)型ポンプでコンパクト、軽量です。

        真空泵LEH100MS

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真空泵NeoDry 36E

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